质量流量计原理

配气仪原理

利用单片机控制质量流量计的流量，动态校准仪，从而实现不同气体的配比。此种原理的配气仪比较典型的是中国计量院研发的MF-4型自动配气系统.

特点

质量流量计原理的配气仪主要特点是配气精度高（小于0.5%），动态校准仪哪家好，但价格较贵。对于不同种类的气体，需要采用不同的配气仪。只能配置设定出厂设定浓度范围内的气体。

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多点动态气体配气仪技术指标

常规稀释倍数为：200:1，两路MFC流量控制；

流量范围、稀释倍数等根据用户要求可随便设计及装配：

流量重复性：≤0.5%

流量线性误差：≤±0.3%

配气不确定度：<1%

预热时间：30min

自动调零：预热结束后自动调整MFC的零点，或从预热调零页面重复调零

仪器电源：220VAC

使用环境：5℃～45℃

外型尺寸：400mm宽x195mm高x500mm深

仪器重量：约8kg

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右侧部分为气路原理

用户可以明确地知道气路原理与气路基本构成，并可通过手动方式，控制内部截止阀（V1-V6的开关）

INLET1 - 设备所用背景气，一般为空气或氮气。

INLET2 – 原料气，用户可通过列表选择多种气体种类。

初级储气罐 - 用于二次配气时储存初级配比出的一定浓度气体，系统自动维持压力在0.5MPa以下，在使用二级配气条件下，初级储气罐自动维持压力在0.45-0.5MPa上下，用以满足二级配气下MFC4的正常工作使用压差。

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