微型真空泵|微型负压泵|微型气泵的基本原理,简单的来说是:电机的圆周运动,通过机械装置使泵内部的隔膜做往复式运动,从而对固定容积的泵腔内的空气进行压缩、拉伸形成真空(负压),在泵抽气口处与外界大气压产生压力差,在压力差的作用下,将气体压(吸)入泵腔,高要真空泵,再从排气口排出。
真空的获得方法
人们通常把能够从密闭容器中排出气体或使容器中的气体分子数目不断减少的设备称为真空获得设备或真空泵。目前在真空技术中,采用各种不同的方法,已经能够获得和测量从大气压力105Pa到10-13Pa,宽达18个数量级的压力范围。显然,只用一种真空泵,获得这样宽的低压空间的气体状态,是十分困难的。
在真空获得技术中,小型真空泵,目前用以获得真空的技术方法有两种,一种是通过某此机构的运动把气体直接从密闭容器中排出;另一种是通过物理、化学等方法将气体分子吸附或冷凝在低温表面上。利用这两种方法所制造的各种真空泵种类较多,分类方法各异,水环真空泵,但是,最常用的方法还是按泵的工作原理或其结构特点加以分类。这一点,我们将在下一节中介绍。