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圆柱靶端部纵截面(即图中 在韵再 平面)的磁场由条形永磁体和块状永磁体的磁场叠加而成,具有 匀曾,冷水江溅射镀膜机器,匀赠,溅射镀膜机器视频,匀扎 三个分量。由图 员圆鄄员圆 可见靶的端部弯曲磁场可以用 在韵再 和 在忆韵忆载忆两个相互垂直平面的磁场来描述。想了解更多离子真空镀膜机|金属表面镀膜机|真空镀膜机设备请联系佛山市佛欣真空设备有限公司
溅射靶的磁场设计,即磁体(永磁体或电磁体)的布置形式是十分复杂,同时也是十分灵活的。磁体之间的空间位置的变化,高低磁导率材料的选取与应用以及磁体性能参数随时间和外界条件的变化都使得磁体布置的设计始终具有完善的空间。想了解更多离子真空镀膜机|金属表面镀膜机|真空镀膜机设备请联系佛山市佛欣真空设备有限公司

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