矩形平面磁控溅射靶的磁路系统主要由内磁条、外磁环及轭铁组成，如图员圆鄄圆 所示。其中内磁条和外磁环的磁荷密度分别为 σ圆 和 σ员，且符号相反。内磁条和外磁环可以分解成若干个单元磁体，图 员圆鄄圆 中外磁环分成源 个单元磁体，内磁条为员 个单元磁体，PVD溅射镀膜机报价，各自尺寸及其中心与孕点距离如图所示。想了解更多离子真空镀膜机|金属表面镀膜机|真空镀膜机设备请联系佛山市佛欣真空设备有限公司
设薄膜进入辊面时与弯辊轴线所决定的平面间夹角为α，PVD溅射镀膜机工厂，离开辊面时的夹角为β，PVD溅射镀膜机公司，则其变化如图２ ６所示．薄膜在辊面上的包角为α＋β．在辊未变弯前，黄梅PVD溅射镀膜机，薄膜边部从Ａ点进入辊面，Ｂ点离开，则ＡＢ＝Ｒ（α＋β）．式中Ｒ为辊面半径，而直线ＡＢ＝Ｒ（ｓｉｎα＋ｓｉｎβ）．当辊面变弯时，由于辊面各点均绕轴线旋转，则辊上的Ａ点将沿ＡＣ前进。想了解更多离子真空镀膜机|金属表面镀膜机|真空镀膜机设备请联系佛山市佛欣真空设备有限公司
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