SOGEVAC应使用LEYBOLD公司提供的GS32油，这种油满足如下技术要求：

--即使在高温下也具有低蒸汽压； --很平的粘度曲线

--低的水蒸汽含有量和吸水性 --良好的润滑性能

--在机械应力下具有良好的抗老化能力

如果您使用未被LEYBOLD批准的油，我们不能担保我们的泵能达到它们的工作性能（极限压力、抽速、工作温度等）。而且，如果使用非批准的油而严重影响泵的运行和可靠性，我们将不提供保修。

当使用其它牌号油时，要使用粘度等级为ISOVG32至ISOVG100的非洗涤矿物油，含有一定量的添加剂。 对特殊应用，可使用其它特殊等级润滑油，全自动真空镀膜机，但应向我们咨询。建议只使用LEYBOLD完全认可的润滑油。

Leybold莱宝真空泵旋片/叶片

旋片在泵运转过程中始终与泵腔内壁接触，因此，多弧离子真空镀膜设备，旋片要有一定的强度和耐磨性。材料一般采用铸铁、

石墨、高分子复合材料等，大抽速的直联泵多采用高分子复合材料。

排气阀是旋片泵主要易损件之一，惠州真空镀膜，将影响泵的抽气性能并产生噪音。排气阀有两种形式：一种是用橡胶

垫做阀片，另一种是用布质酚醛层压板或弹簧钢片做阀片，穿过泵油排出。泵油起到密封作用。在双级

泵中，当高真空级与低真空级为不等腔时，需在两级之间设置中间辅助排气阀，辅助排气阀的作用是在

入口压力较高、经高真空级压缩的气体已达到排气压力时，辅助排气阀打开，部分气体由辅助排气阀排

出，部分气体由低真空级抽走。随着入口压力的降低，辅助排气阀排气量逐渐减少，直至最后关闭。

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