扩散炉总体主要由控制部分、推舟净化部分、电阻加热炉部分、气源部分所组成。那么出现故障时该怎么处理呢？

①扩散源出现故障时，应先关闭相应的气路的手动阀，并暂停工艺运行，扩散炉生产厂家，待排除故障后才能继续扩散工艺。

②炉子超温，会自动切断加热电源并发出声光警报，山东扩散炉，此时应先查找原因，待故障处理后再重新开启加热。

③如发生液源溢出，要立即擦拭干净，并暂停工艺，仔细检查源瓶是否破裂。

高温扩散炉主要应用于半导体材料的扩散、氧化工艺、玻璃金属的封装焊接、石英制品的热处理、LED发光粉体材料的煅烧等工艺。

主要特点：

高温扩散炉采用高纯石英管作为内炉膛，真空扩散炉，具有良好的洁净度

高温扩散炉的耐火、保温材料全部采用先进的轻质纤维制品，整机能耗低、升温快

高温扩散炉的加热元件采用真空成型FEC陶瓷纤维加热器

高温扩散炉的温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制，温度控制具有良好的稳定性、重复性

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