近几年我国扩散设备的升级换代迅速发展，真空扩散炉，技术进步速度空前，但总体来说是先进与落后并存，总体技术水平与国际先进水平相比还存在一些差距，特别是设备自动化与局部细节方面。

扩散炉是半导体集成电路工艺的基础设备，高温扩散炉价格，它与半导体工艺互相依存、互相促进、共同发展。进入21世纪，电子信息产业的持续高速发展激励和带动了集成电路产业的发展，这就为微电子产业发展提供了空前广阔的发展空间，也为半导体专用设备提供了巨大的市场潜力。

扩散炉的保养与维护

①恒温区校准周期，炉子恒温区调好以后，不是频繁连续工艺，南京扩散炉，可两个月校准一次，高温扩散炉供应，连续工艺，一个月校准一次。

②炉体保温在隔一天以上的工艺之间，炉温一般为450℃～650℃保温。

③设备工作环境应长期保持清洁、干燥、无污染。

④设备长期不用时，每隔一星期通电运行一次，防止器件受潮失效。更换损坏元器件时，应尽量采用规格、型号相同的器件。温控仪等关键器件不得采用替代品。

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