广州市尤特新材料有限公司是一家扎根于电子信息材料行业的高新技术企业,宿迁合金靶材,以生产信息存储记录材料为起点,铜镍合金靶材,顺延产业技术发展的方向,深耕产业技术应用的潜力,经过11年的开拓已发展成为拥有电子浆料、金属薄膜靶材信息存储记录材料、工程塑料、触控显示材料、石墨烯材料、UV化工材料这七大核心技术为中心的产业集团。
这一市场确实体量较小,但是考虑到此前靶材产业一直由欧美把持,因此我国靶材产业可以说是刚刚起步,还处于萌芽状态。而对于投资者来说,眼见下游应用领域的市场规模越做越大,如果不能把握进军靶材产业的良机,无异于将这一市场拱手让人。
而且,与国外靶材供应商相比,我国靶材产品在技术水平上的不足已经得到了弥补。同时,其性价比优势也较高。如今我国已经兴起了一批靶材厂商,打破国外技术垄断指日可待。眼下我国正在大力扶持靶材产业的发展,因此对于投资者来说,眼下正是入局的大好时机。
广州市尤特新材料有限公司是一家扎根于电子信息材料行业的高新技术企业,以生产信息存储记录材料为起点,顺延产业技术发展的方向,深耕产业技术应用的潜力,经过11年的开拓已发展成为拥有电子浆料(金属镀膜技术)、金属薄膜靶材(真空镀膜靶材技术)信息存储记录材料(激光读写光盘生产技术)、工程塑料(PC再生造粒及改性技术)、触控显示材料(手机、平板触摸屏材料)、石墨烯材料(导电、散热)、UV化工材料(UV油墨、UV电子胶粘剂)这七大核心技术为中心的产业集团。
靶材的主要性能要求
纯度
纯度是靶材的主要性能指标之一,高温合金靶材,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,镍合金靶材,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度
为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。