在VOCs的治理上，根据调查可以知道催化氧化、吸附、生物法是国内外工业VOCs处理技术市场占有率较大的3种技术，其次是热力学燃烧和低温等离子技术[11]等。在适宜的适用范围中，有机废气VOCs浓度低于500mg/M3用低温等离子法，光催化废气处理设备，500～2000mg/M3可以选用微生物法，500～10000mg/M3可以选用吸附法，大于1000mg/M3可以选用燃烧法，有机废气的浓度很高时可以选择直接燃烧法。

工业废气的处理方法

物理化学法

物理化学法包括有吸附法、吸收法、燃烧法、低温等离子法、光催化氧化法等。物理化学法一般适用于浓度较高的废气。

低温等离子技术

 当废气的浓度很低时，常见的吸收、吸附以及燃烧法并不能有好的处理效果，此时，废气处理，低温等离子法就有较好的用武之地。

等离子体被称为除固态、液态和气态外物质的第四种形态，光催化废气处理，当外加电压达到气体的着火电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，低温等离子废气处理设备，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到分解污染物的目的。

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