里其乐Rietschle真空泵：VC50/VC75/VC100/VC150/VC202/VC303/VC400/VC500/VC700/VC900/VC1100/VC1300

高压缩比的涡轮分子泵，以双级旋片式真空泵为前级，可得到5*10-9Pa的真空度。用扩散泵作前级，可

得到10-9Pa真空度。泵入口安装上钛升华阱，获得的真空度高于10-9Pa。

涡轮分子泵对氢的压缩比小，残留气体中主要是氢。泵的极限氢分压受泵的压缩比和前级管道中氢分压

的限制，采用扩散泵作前级，可降低前级管道中的氢分压，进而可提高泵的极限真空度。

里其乐Rietschle真空泵：VC50/VC75/VC100/VC150/VC202/VC303/VC400/VC500/VC700/VC900/VC1100/VC1300/VCA25/VCA40/VCE25/VCE40/VGD10/VGD15/VTN10/VTN15/VTN25/VTN40/DLT10/DLT15/DLT25/DLT40/DTA50/DTA60/DTA80/DTA100/DTA140/KLT/15/KLT25/KLT40                      

里其乐滤芯：

731400，731401，里其乐真空泵，731399，730936730937，730516-0000，730514，731142，515310，730506，513457，730507，317957，730504，731148，731143，730513，730533-0000，730516，730507-0000，909503，730542，730517，730080，730502，515310，730506，730508，513457，730519，317895，317957，731468-R，730080-0000

换油原则：

1）当真空度下跌，真空泵油满足不了需要时；

2）当泵油颜色变深，呈褐色时，均应当换油；

3）油品酸值达到2.0mg/g时，应考虑更换新的油品。

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