就镀膜工艺而言，真空技术的应用体现在哪些方面？

在许多镀膜工艺中（例如：金属、塑料或玻璃以蒸汽形态沉积），真空技术扮演着决定性的作用。在很多情况下，普旭VM32，离开真空，就无法实现这些工艺。一般在工艺开始之初，对腔室施加中度或高度真空，以便真空排气，再抽除反应气体或者气化固体原材料。

这些镀膜工艺都有一个共同的要求：腔室必须保持完全符合镀膜工艺要求的中度或高度真空。这些镀膜工艺有助于改变材料的表面特征，例如硬度或耐腐蚀性。此外，真空镀膜也可以改善材料的附着性或湿润性，或者让材料表面保持疏水性或亲水性。

我们的真空系统可以为以真空为基础的镀膜工艺量身定制。

德国BUSCH普旭真空泵RA0025F/RA0040F

8）吸附泵。适合于各种真空电子器件、集成电路、分析仪器、表面仪器以及各种要求清洁无油的真空系统中使用。

9）钛泵（包括溅射离子泵、升华泵）。适用于真空镀膜、大规模集成电路、表面物理和表面化学、热核物理、等离子体物理和超导技术等工作中使用。

10）分子泵。适用于真空镀膜、集成电路、表面物理、表面化学、等离子体物理、光学仪器、热核反应和宇航技术工作中使用。

在 Puma WY 罗茨真空泵腔体内有两 个同步旋转的转子。由于转子采用特 殊设计及精密制造，它们在运行时不 会相互或与腔体接触。这样无需借助 任何工作液即可泵送介质。同步旋转 的两个转子由一对齿轮驱动，其位于 齿轮箱的轴端，与压缩腔室相分离。

干式旋片真空泵及压缩机技术说明Seco 真空泵的工作方式基于成熟的旋片技术原理。由于使用自润滑旋片，因此无需工作液润滑。完全采用无油干式压缩的方式。通过完美匹配的材料、腔体内的特殊石墨旋片、有效的排热和先进的精密加工工艺，得以实现连续运行时的高真空。

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