当前，微机械加工技术和微米砌米技术也将得到高速发展。传感器的规模化生产由传统的机械加工方式向微机械加工方式过渡。半导体技术中的加工方法有氧化、光刻、扩散、沉积、平面电子工艺，各向导性腐蚀及蒸镀，溅射薄膜等，这些都已引进到传感器制造中去，因而产生了各种新型的传感器。如：利用薄膜工艺制造出快速响应的气敏、湿敏传感器以及利用溅射薄膜工艺制造的压力传感器。它可以克服非金属式应变计容易受温度影响的不足，具有很高的稳定性。不仅能克g陇统粘贴式带来的精度低、迟滞大等缺点，并且具有精度高、可靠性高、体积小的特点，因而被测介质范围宽，适用于各种场合，在石油、化工、医疗、航空等领域都得到了广泛的应用。全硅谐振式压力传感器可以利用两个谐振梁的频差对应不同的压力，用频率差的方法测压力，可消除环境温度等因素带来的误差。当环境温度变化时，流量传感器，两个谐振梁频率和幅度变化相同，其相同变化量可以互相抵稍。因而使测量精度大大提高。

电容式传感器是将被测量的变化转换为电容量变化的一种装置，它本身就是一种可变电容器。电容式传感器具有很有特点，所以通常电容式传感器往往广泛应用于各种测量。电容式传感器温度稳定性好，电容式传感器，电容式传感器的电容的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料；又因为电容器本身的损耗非常小，所以发热很小；因此，传感器具有良好的零点稳定性，由于自身发热而引起的零漂可以认为是不存在的。

　　电容式传感器结构简单、适应性强。电容传感器的结构简单，易于制造．易于保证较高的精度；可以做的非常小巧。以实现某些特殊测量；出于不用有机材料和磁性材料，能承受很大的温度变化和各种辐射及强磁场作用，可以在恶劣环境中工作；也可以在许多各向同性电介质液体中上作。

　　电容式传感器动态响应好。电容式传感器极板间的静电引力很小，有电磁学理论我们知道，当带电极板的电位不变时，速度传感器，极板间的静电引力可以直接得出结果。该传感器还可以实现非接触测量，具有平均效应。例如利用电容式传感器非接触测量回转轴的震动或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时，电容式传感器具有平均效应。可以减少工件表面粗糙度等对测量的影响。

 风传感器的种类较多，旋转式风传感器是迄今为止得到广泛应用的风传感器。那么他和其他风传感器比的优势有：

1、在各种天气条件下工作的高度可靠性。

2、风敏元件的轴上能产生较大的转矩，便于使用各种一次转换器，传感器，

3、风速的平均比较简单，

4、风速与风敏元件旋转的角度之间为线性关系；

5、产生成本相对较低

     在旋转式风传感器中又有风杯式和螺旋桨式两种。螺旋桨式风传感器的机体呈流线型，与飞机的机身相似。其风敏元件是螺旋桨，安装在传感器的前部。单叶风向标安装在传感器的尾部。在风场里，风向标用来感应并对准风向，螺旋桨则用来感应风速的大小。

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