生物法处理挥发性有机物(VOCs)具有反应条件温和、运行费用低,二次污染小等优点。本文综述了生物过滤、生物滴滤、生物洗涤、膜生物反应器等4种净化工艺;总结了前人就废气性质、降解菌、填料结构与特性、pH与温度等因素对反应体系降解性能的影响；综述了研究废气生物降解过程和研究生物量积累与运行性能关系等的动力学模型。最后论述了该技术当前存在的问题和发展趋势。

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气流重要性洁净室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。

然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。

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