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溅射对靶材有哪些性能要求

北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,镍铬铝硅合金,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供高品质的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。


1.靶材短路后靶材成了负载,瞬间就会产生巨大的热量。由于纯铝的熔点很低,只有660摄氏度,不但在外力的作用下靶材变形,局部还会达到熔点,镍铬铝硅合金批发,形成溶洞;2。即便靶材不短路,如果冷却系统出现问题铝靶材也容易变形;3.磁控溅射镀膜电源保护性的功能差,镍铬铝硅合金公司,超载后不能及时自动停止工作。



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溅射靶材使用

      北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供高品质的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。

 

      为保持镀膜的成分特性,溅射气体(氩气或氧气)必须清洁并干燥,溅镀腔内装入基材后便需将空气抽出,镍铬铝硅合金厂家,达到工艺所要求的真空度。  暗区屏蔽罩,腔体壁及邻近表面也需要保持洁净。纱纸抛光后, 再用酒精,去离子水清洗,同时建议使用工业吸尘器进行溅射靶材清洁。

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溅射靶材

北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。

磁控溅射原理:在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场,在高真空室中充入所需要的惰性气体,磁铁在靶材料表面形成250~350高斯的磁场,同高压电场组成正交电磁场。 磁控溅射一般分为二种:支流溅射和射频溅射,其中支流溅射设备原理简单,在溅射金属时,其速率也快。

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