X射线测厚仪结构

（一）、外部结构原理图

X荧光做镀层分析时，根据射线是至上而下照射样品，还是至下而上照射样品的方式，将X荧光分析仪的外部整体结构分为：上照射和下照射两种结构。

（二）、各种外部结构的特点

1、上照射方式

   用于照射(激发)的X射线是采用由上往下照射方式的设备称为上照射仪器。此类设备的Z轴为可移动方式，用于确定射线照射光斑的焦点，确保测量的准确性。

①、Z轴的移动方式

   根据Z轴的移动方式，分为自动和手动两类；

自动型的设备完全由程序与自动控制装置实现，其光斑对焦的重现性与准确度都很高，而且使用非常简便（一般是与图像采集系统与控制系统相结合的方式），一般只需要用鼠标在图像上点击一下即可定位。此类设备对于测试形状各异的样品非常方便，x ray型镀层测厚仪，也是目前最主流的分析设备类型。

   手动型设备，一般需要用人观察图像的方式，根据参考斑点的位置，手动上下调节Z轴方向，以达到准确对焦的目的。因此，往往在测试对象几何结构基本上没有变化的情况下使用比较快捷。

②、X、Y轴水平移动方式

水平移动方式一般分为：无X、Y轴移动装置；手动X、Y轴移动装置；电动X、Y轴移动装置；全程控自动X、Y轴移动装置。

这几类的设备都是根据客户实际需要而设计的，x 射线镀层测厚仪，例如：使用无X、Y轴移动装置的也很多，结构简单，天瑞镀层测厚仪，样品水平移动完全靠手动移动，这种设备适合于样品面积较大，定位比较容易的测试对象。  

能量色散X荧光光谱仪定义及原理

X射线荧光光谱仪是一种可以对多元素进行快速同时测定的仪器。试样受X射线照射后，其中各元素原子的内壳层（K，镀层测厚仪，L或M层）电子被激发逐出原子而引起电子跃迁，并发射出该元素的特征X射线荧光。每一种元素都有其特定波长的特征X射线。能散型X射线荧光光谱仪（EDXRF）利用荧光X射线具有不同能量的特点，由探测器本身的能量分辨本领来分辨探测到的X射线。

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