不管使用蒸发法还是溅射法，镀膜时基材受热，温度上升，镀膜机，基材
温度上升的程度和真空镀膜塑料产品的质量有很大的关系．温度太
高，质量下降，甚至成为废品，因此对基材应该有良好的冷却．早期的
镀膜机用冷却舟冷却，效果不理想，且基材易因摩擦而划伤．现在多
数使用冷却辊，冷却辊就是前面提到的主辊，它与基材同步运转。想了解更多离子真空镀膜机|金属表面镀膜机|真空镀膜机设备请联系佛山市佛欣真空设备有限公司

（２）电子束加热法。是用高能电子束直接轰击蒸发物质的表

，钛金炉，使其蒸发。由于是直接在蒸发物质中加热，避免了蒸发物质与

器的反应和蒸发源材料的蒸发，二手真空溅射镀膜机，故可制备高纯度的膜层。这种

热方法一般用于电子元件和半导体用的铝和铝合金，此外，用电

束加热也可以使高熔点金属（如 Ｗ，Ｍｏ，Ｔａ等）熔化、蒸发。图

为电子束加热蒸镀示意图。

在磁控溅射镀膜机中，最重要的部件是阴极溅射靶，它是溅射镀膜机的“心脏”。阴极靶的特性直接与溅射工艺的稳定性和膜层的特性相关，与靶材的利用率及镀膜成本相关，因此提高溅射靶的设计水平，提高镀膜产品的性能价格比，增加溅射稳定性成为工业镀膜生产中的关键问题。想了解更多离子真空镀膜机|金属表面镀膜机|真空镀膜机设备请联系佛山市佛欣真空设备有限公司

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