用于大面积真空等离子体清洗机的SPV系列可提供各种室尺寸，可选择垂直或水平面板配置。定制配置可用于大型和厚板面板要求。行业验证的等离子体技术在层压之前提供优异的表面处理均匀性，以提高粘附性和可靠性。高效的设计，经济消耗，占地面积小以及有吸引力的系统定价都有助于降低拥有成本。容易装载和多功能机架允许大的吞吐量，单级等离子体处理和容量选项，可为广泛的PCB制造要求提供出色的产量。

等离子清洗机支持手动和自动化操作-晟鼎精密

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    等离子清洗机支持手动和自动化操作（内置或内置处理程序），特别均匀和紧凑的腔室设计允许可互换的处理配置和等离子体模式，三轴对称等离子体室确保产品的所有位置均匀处理，而对所有工艺参数的严格控制确保了产品与产品之间可重复的结果。

   小型等离子清洗机体积和专有的等离子体过程控制实现了无与伦比的短周期时间，dinner 等离子清洗机，而其纤薄的结构使占地面积需求小化。通用架构可处理多种产品形式因素，包括载体，条带，层压板，及晶片。根据吞吐量和产品形式的要求，等离子，系统可以配置为单个和多个条带或引线框架，晶圆处理和独立于岛屿生产环境的杂志到杂志的处理。系统自动回收到等离子体就绪状态，补偿真空压力，温度和不同批次尺寸的变化。使用专有的算法可以在几秒钟内实现对腔室的功率，该算法会持续测量腔室内的向前和反射功率。

     经济实惠的反应离子蚀刻在紧凑的台式配置中，各向异性反应离子蚀刻等离子体系统是完全独立的，需要小的工作台面积。等离子体蚀刻机底盘也用作集成安全外壳，容纳等离子体室，控制电子设备，13.56 MHz射频发生器和自动匹配网络（只有真空泵在系统外部）。通过互锁的门或容易拆卸的面板提供维护通道。  

    真空等离子清洗机由高质量的阳极氧化铝和陶瓷夹具构成，具有出色的耐久性。等离子体室可以配置6“或8”电源电极，以适应各种晶圆尺寸，零件，IC封装和其他元件。

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