手套箱故障分析

一、水、氧含量过高

1. 设备的使用方法是否正确，调试期间箱体里面不能放过多的样品，手套箱原理，如需放入，建议经过干燥处理；

2. 箱体的密闭性，包括大、小舱的使用以及手套是否在不正确的使用下造成漏气；

3. 温度对水含量有一定的影响，温度过高水含量下降较慢；

4. 活性炭的烘烤不彻底也会对水造成一定的影响；

5. 再生效果是否正常，重点检查净化柱再生过程中的抽真空环节，抽真空要保持2小时以上。

二、氧含量循环时缓慢上升

1. 箱体到风机进气口之间有微量泄漏，通过分段保压法，排除问题；

2. 波纹管可能泄漏；

3. 接头可能泄漏；

4. 净化柱或溶剂柱可能泄漏。

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结构原理

手套箱结构原理

主要由主箱体、过渡室两部分组成。如用户有其它特殊要求，也可以根据需要进行设计制造。

主箱体上有两个（或两个以上）手套操作接口，分布在箱体的前边（或前后两边），这使得本操作箱能被一个（或几个）人同时操作，提高了箱体的使用效率。另外，在箱体的前面（或前后）都有观察窗，操作者能够清楚地观察到箱体内的操作过程，使得操作过程直观地展现在操作者的眼前。过渡室的阀门上有抽气与充气接嘴，在需要抽气或充气时可由此接入。主箱体上也安装有阀门和接嘴，手套箱，用户在需要维持气压平衡而对主箱体放气或充气时可以使用（手套口之间的三通阀必要时也可以用来放气）。主箱体的前观察窗上方安装了照明日光灯。

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真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。

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