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溅射镀膜

溅射镀膜就是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面,使被轰击出的粒子沉积在基片上的技术。通常,利用低压惰性气体辉光放电来产生入射离子。阴极靶由镀膜材料制成,基片作为阳极,真空室中通入0.1-10Pa的气或其它惰性气体,在阴极(靶)1-3KV直流负高压或13.56MHz的射频电压作用下产生辉光放电。电离出的离子轰击靶表面,使得靶原子溅出并沉积在基片上,形成薄膜。溅射方法很多,主要有二级溅射、三级或四级溅射、磁控溅射、对靶溅射、射频溅射、偏压溅射、非对称交流射频溅射、离子束溅射以及反应溅射等。

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磁控溅射介绍

以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供,桌式350型三靶磁控溅射仪供应,今天我们来分享磁控溅射产品的相关内容,希望对同行业的朋友有所帮助!

用磁控靶源溅射金属和合金很容易,点火和溅射很方便。这是因为靶(阴极),等离子体和被溅零件/真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体(如陶瓷),则回路断了。于是人们采用高频电源,回路中加入很强的电容,这样在绝缘回路中靶材成了一个电容。但高频磁控溅射电源昂贵,磁控溅射仪供应,溅射速率很小,多靶磁控溅射仪供应,同时接地技术很复杂,因而难大规模采用。为解决此问题,发明了磁控反应溅射。就是用金属靶,加入气和反应气体如氮气或氧气。当金属靶材撞向零件时由于能量转化,与反应气体化合生成氮化物或氧化物。



【磁控溅射镀膜设备】使用注意事项

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磁控溅射镀膜设备是目前一种镀膜产品,相比传统的水电镀来讲,磁控溅射镀膜设备无毒性,能够掩盖,弥补多种水电镀的缺陷。

近年来磁控溅射镀膜设备技术得到了广泛的应用,现国内磁控溅射镀膜设备厂家大大小小的也非常多,但是专注于磁控溅射镀膜设备生产,

经验丰富的却造磁控溅射镀膜设备厂家,就一定会有一定的规模,这类磁控溅射镀膜设备不像是小件的东西,

磁控溅射镀膜设备其技术含量非常的高,CK300三靶磁控溅射仪供应,选购磁控溅射镀膜设备时一定要先了解。

磁控溅射镀膜设备技术含量高,那么就一定要拥有一个非常强大的磁控溅射镀膜设备技术工程队伍,

磁控溅射镀膜设备行业资深的专家,磁控溅射镀膜设备可根据用户的产品工艺及物殊要求设计配置。



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