精密检测位移平台

三轴龙门直线电机平台
1.行程
X轴1000mm
Y轴1000mm
Z轴100mm
2.全闭环控制
3.大理石底座
4.3轴控制
5.双X轴结构
6.最快速度2000mm/s 7.相应频率0.01″

高精度直线电机，音圈电机气浮平台，多轴气浮精密平台，在工作中要求达到亚微米级的运动精度,。直线电机气浮精密运动平台,对气浮导轨设计、直线电机控制等关键技术进行了研究. 采用有限元设计法设计了气浮导轨,采用该方法设计的气浮导轨具有较高的承载能力和刚度. 提出一种改进的PID控制策略, 从而改善直线电机运动平台的抗干扰能力, 并使其获得较高的稳态位置精度. 实验结果显示, 在采用这种控制方法后, 直线电机气浮精密平台的定位精度可达亚微米，甚至是纳米级的精度要求