精密运动平台

精密度高，可定制重复定位精度0.1um或更高精度的精密平台

* 速度高，最高速度可达到7m/s，极大提高生产效率

* 洁净度高，平台运动无需丝杠、减速器等中间部件，无需采用相关维护保养措施，适用高洁净要求环境

* 高刚性，加速性能好

* 动态响应快，执行机构与平台之间无非线性机械部件，可获得极高动态响应

* 平台零件少，组装调试简单，零维护

* 平台运动平稳，运动速度从1um/s到7m/s均能适应，推力范围从几牛顿到几万牛顿可选