辅助抽气系统： 排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。 排气流程为： ? ? 机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。 机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。 东莞捷诚精密机械设备有限公司专注真空设备，对于真空泵维修，真空泵保养，进口真空泵维修保养方面经验丰富、技术可靠、能迅速的为您解决各类技术问题。 ? ? 欢迎来电咨询；我们将捷诚为您服务！
真空泵维修的保养维护方法
针对真空泵维修使用过程中出现的一些问题，真空泵维修总结出了以下关于真空镀膜机真空泵的日常保养以及维护方法。
1、开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和滑阀真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。
2、尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在点运转，才能提高节能的效果。
3、真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35℃，上至温度不得超过80℃。
4、如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。
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真空泵维修在信息薄膜加工中的应用
早用于广播、通信和雷达的电子器件是真空电子管,主要是控制由阴极发射到真空中的自由电子,用于信号的振荡、调制、发射、检测、放大、存储和加工.电子管器件的制造,要求真空卫生和真空纯洁,微电子器件的产生是建立在高纯锗、硅材料的基础上的，在材料和器件加工过程中，要求保持比高纯还好的半导体纯和高度有序的晶体结构。
而微电子器件的下一代的纳米电子器件，要求所用材料和组装加工过程应该好于半导体纯，更少的杂质和缺陷，更完善的晶体结构，所以在研究纳米电子器件时，将更多地采用高真空，甚至超高真空进行材料制备和器件组装。
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