真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。

扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，橡胶真空镀膜设备，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。

镀膜有许多优点，环保真空镀膜设备，如设备与工艺相对比较简单，即可沉积非常纯净的膜层，又可制备具有特定结构和性质的膜层等等，仍然是当今非常重要的镀膜技术。镀膜系统一般由三个部分组成：真空室、蒸发源或蒸发加热装置、放置基板及给基板加热装置。在真空中为了蒸发待沉积的材料，需要容器来支撑或盛装蒸发物，同时需要提供蒸发热使蒸发物达到足够高的温度以产生所需的蒸汽压。

对于真空镀膜机设备而言，真空泵是获得真空环境不可缺少的一部分，五金真空镀膜设备，制造商每次制造真空镀膜设备时都会搭配一个或多个真空泵。

真空镀膜机在选择如何选择真空泵时，应注意以下事项：

1.真空泵的工作压力必须满足真空设备的极限真空和工作压力要求。

2.正确地选择真空泵的工作压力。每种泵都有一定的工作压强范围，

3.真空泵在工作压力下，应能排出真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4.真空泵的正确组合有选择性吸入，高明真空镀膜设备，所以有时选择一种泵也不能满足进气要求，必须与几种泵结合，互相补充，才能满足进气要求。

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