真空镀膜或许很少有人知道,但是真空镀膜的产品却是每个人都使用过
真空镀膜加工技能是一种新颖的资料组成与加工的新技能,是外表工程技能范畴的主要组成部分。真空镀膜加工技能是使用物理、化学手法将固体外表涂复一层特殊功能的镀膜,然后使固体外表具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装修等许多优于固体资料本身的优胜功能,到达提高商品质量、延伸商品寿数、节约能源和取得明显技能经济效益的效果。
真空镀膜加工能被誉为具发展前途的主要技能之一,并已在高技能产业化的发展中展现出诱人的市场前景。这种新式的真空镀膜加工技能已在国民经济各个范畴得到使用,如航空、航天、电子、信息、机械、石油、化工、环保、等范畴。
真空镀膜加工的基本技能要求
9、真空室接不同电位的各部分间的绝缘电阻值的巨细,等离子化学气相沉积,均按GB/T11164-1999中的4.4.6
10、其他注意事项
1)环境温度:10-30oC??2)相对湿度:不大于75%? ?3)冷却水进水温度:不高于25oC? ?4)冷却水质:城市自来水或相当质量的水。? ?5)供电电源:380V三相50Hz或220V单相50Hz(由所用电器需求而定);电压波动范围:342-399V或198-231V;频率波动范围:49-51Hz。??6)设备所需的压缩空气,液氮,冷水、热水等的压力、温度,台湾化学气相沉积,消耗量等,均应在产品运用说明书中写明。??7)设备周围环境整齐,空气清洁,不应有引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。
真空镀膜技术一般分为两大类,cvd化学气相沉积,即物相堆积(PVD)技术和化学气相堆积(CVD)技术。
物相堆积技术具有膜/基结合力好、薄膜均匀细密、薄膜厚度可控性好、运用的靶材广泛、溅射规模宽、可堆积厚膜、可制取成分安稳的合金膜和重复性好等长处。一同,物相堆积技术由于其工艺处理温度可控制在500℃以下,因而可作为Z终的处理工艺用于高速钢和硬质合金类的薄膜刀具上。