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二、东元伺服在固晶机的应用
???????固晶机上总共采用4套200W伺服(JSDA-15A搭配JSMA-SC02ABK)和2套100W伺服(JSMA-15A搭配JSMA-SC01ABK),分别控制X,Y轴传动机构以及键合臂取晶动作。其中要求的为控制键合臂的100W伺服。

三、伺服动作要求
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100W伺服电机通过同步带带动连杆快速正反转实现装有吸晶咀的键合臂做逆时针和顺时针方向位移,逆时针到位后吸晶咀吸取晶元然后顺时针固定晶圆。此动作要求:1.快速定位时,马达要平稳,不能抖动,否则吸晶和固晶的位置会不准确;2.客户要求每个动作周期尽量的快,由此对伺服的响应有较高要求。?
通过伺服增益参数的调整,终可以实现键合臂伺服在3msec内完成整定,整个固晶周期为245msec/颗,获得客户的认可。?

伺服参数设定:



下联轴器,取出减速整轴传动的减速机输出轴无联轴器,如果按照2.3.1方案改造,工作量太大也不现实。为减少工作量、简化安装程序,设计了一种可剖分式端盖,并对开口式油封进行了尝试。可剖分式端盖外侧车加工槽,装油封时先将弹簧取出,将油封锯断呈开口状,从开口处将油封套在轴上,用粘接剂将开口对接,开口向上,再装上弹簧,东元变频电机批发,推入端盖即可。
4 采用新型密封材料
对于减速机静密封点泄漏可采用新型密封材料粘堵。减速机大修时,在接合面、端盖上涂D05硅橡胶密封胶代替早期产品,一般不会出现泄漏。如果减速机运转中静密封点漏油,可用表面工程技术的油面紧急修补剂粘堵,从而达到漏油的目的。


电动机的额定转速,是指在额定工作方式下的转速。电动机和由它拖动的工作机械都有各自的额定转速。在选择电动机的转速时,应注意转速不宜选的过低,因为电动机额定转速越低,其级数越多,体积就越大,价格也就越高;同时,电动机的转速也不宜选的过高,因为这样会使传动机构过于复杂,而且难以维护。
  

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