一.中图仪器激光干涉仪功能特点
1. 测量精度高：以激光干涉技术为核心，分辨率可达纳米级；采用高精度环境补偿模块，解决温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。
2. 具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并且可满足回转轴分度精度的测量。
3. 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，满足机床误差修正的要求。
4. 具有动态测量（位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线）及测量振幅和频率分析的功能，可进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等。
5. 内置（GB）、ISO、BS、美标、DIN（德标）、JIS（日标）等机床检验标准。可依据各种机床标准分析处理数据，并根据测量结果可打印相应的曲线图和数据报告。
6. 可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动对波长进行环境补偿。
7. 测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；可将检定数据输出到Word、Excel、AutoCAD（选配）文档。
8. 安装方便：基本重量为15kg，简单便携。
二.中图仪器激光干涉仪技术参数
三.中图仪器激光干涉仪产品配置清单
1) SJ6000主机：1台
2) 环境补偿单元：1台
3) 光学镜组：
线性测量光学镜组：1套（标准配置）
小型线性光学镜组：1套（标准配置）
小角度测量光学镜组：1套（选配）
直线度测量光学镜组：1套（选配）
垂直度测量光学镜组：1套（选配）
平面度测量辅助附件：1套（选配）
回转轴测量精密转台：1套（选配）
4) 测量软件：1套
5) 便携式笔记本电脑：1台
6) 便携式仪器配件箱：1个
7) 通用三脚架：1个
8) 云台附件：1套
9) 磁性表座：2套
10) 产品使用说明书：1套
11) 产品合格证、保修卡：1套
12) 免费保修：1年
1、 激光干涉仪必须定人保管，机加技术组人员专人专用，专人送检，他人不得
随意动用，以防损坏，降低精度。
2、 激光干涉仪要设置专库存放，环境要求干燥、通风、防震、防雾、防尘、防锈。仪器应保持干燥。各种仪器均不可受压、受冻、受潮或受高温，仪器箱不要靠近火炉或暖气管。
3、 对仪器要小心轻放，避免强烈的冲击震动，安置仪器前应检查三脚架的牢固性，整个作业过程中工作人员不得离开仪器，防止意外发生。
4、 激光干涉仪应避免在温度变化大、有风、潮湿环境下测量，此时检测结果将收到很大的影响。
5、 中图仪器干涉仪所配用的笔记本为专用笔记本，该笔记本不得外借，也不能安装任何其他软件，防止软件冲突和病毒，保障测量数据的准确，以防测量数据丢失。
6、 测量人员在拿取干涉仪之前，需先填写激光干涉仪使用申请单，填写申请表后，负责人需先检查干涉仪器件完整与否，器件是否良好。然后再得到部门领导签字后，方可使用激光干涉仪。对其他部门人员如借用激光干涉仪，需填写借用干涉仪使用申请单，负责人需先检查干涉仪器件完整与否，器件是否良好。然后再得到部门领导签字后，方可借用激光干涉仪。当干涉仪使用后，将要存库时，负责人必须点清器件，且所有器件良好，此时才能将干涉仪入库备案。
7、 负责人要每月对激光干涉仪的器件进行清点，并查看是否有损坏、磨损等异常情况，将检查报告予以备案。
