超纯水，纯度极高的水。这就对制造工艺要求严格，使出水达到符合使用要求的水；工艺：预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥18MΩ.CM）主要用于：电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃，化工工艺用水、化学药剂、化妆品等用纯水，单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装、引线柜架、集成电路、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺用纯水。