广州SPELLMAN高压发生器维 广州SPELLMAN高压电源维修 我公司专业从事射频 等 离子 体电源的维修、维 护及 销售，主 要服务 内 容包括：为半导体工厂，液晶面板工厂等提供AE, MKS(ENI), DAIHEN, AD-TEC, KYOSAN, RFPP等国际品牌的射频电源、直 流电源、匹配器、RPS及各类半导体设备维修、销售、客户方案定制与老式机型替代，并提供现场支持服务。? 公司主要客户：TSMC, HYNIX, SMIC, IVO, JCAP, MEMSIC, HHNEC, SZ TIANMA, HEJIAN, JA SOLAR,SONY, TOSHIBA, BEST SOLAR等。 ?? 二、产品介绍 KYOSAN RFK50ZH-EV1 ?13.56MHz / 5000 W ?射频电源 ? Oscillation frequency 13.56MHz Rated output 5kW Harmonic distortion rate? -45dB or lower Output method MOS-FET Method Output connector DIN7/16 or LC type Input voltage Three-phase 200/220V Input power 8.0kVA or less Cooling method water cooling (6liters/minute) Dimension 240W×555D×177H (mm) (Not including protruding parts) Weight 23kg