净化工程是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。 中文名 净化工程 外文名 Purification engineering 工程性质 环境保护 应 用 制造业 原 理 乱流洁净室,单向流洁净室 作 用 控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度
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