产品描述：  PSVH30-010U为Z向直驱压电平移台，采用压电陶瓷直驱机构的设计原理，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性，压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。 压电位移台可提供SGS传感器反馈或无反馈（开环）。 对于需要紧凑的尺寸，高动态性和亚纳米级的定位分辨率，但又不需要绝对的定位精度和可重复性的应用，开环提供了一种经济效率高的选择。在通过外部反馈源（干涉仪，视觉系统等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计版本。 本系列产品形行程范围为5μm（闭环）。 产品特性 —单轴运动 —运动可达10μm（闭环） —承载0.8kg —紧凑型设计 选配功能 —可定制安装、负载固定孔位及转接装置 —可选PZT&Sensor连接器及线缆长度 —可选配闭环(SGS) 位置反馈系 —可提供XZ、XY和XYZ版本 应用领域 —纳米压印、纳米计量、纳米光刻 —原子力显微镜、扫描电镜 —生物技术、干涉测量 —表面测量技术、光纤端面检测、半导体技术