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产品参数
真空:机械泵 ≤5Pa(5分钟) 输出电压电流:电压≤1000V 电流≤1A 工作电源:直流溅射电源
产品特点

该产品为台式磁控溅射镀膜机,能够在非导电或导电不良的样品上涂布金(Au),钯(Pd),铂(Pt)和金/钯(Au / Pd)的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜,使样品适用于扫描电子显微镜(SEM)分析。仪器结构紧凑,全自动控制,设计符合人体工程学,所得结果一致,可重复性高。 产品特点: 7’’彩色触摸屏:数据输入简单快速 通过触摸屏中直观检测数据和曲线;历史页面可显示300个历史涂层信息。 可控镀膜速率,可得到更精细的晶粒结构 可手动或自动,根据时间或根据厚度进行溅射 样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品的喷金效果。 该产品为台式磁控溅射镀膜机,能够在非导电或导电不良的样品上涂布金(Au),钯(Pd),铂(Pt)和金/钯(Au / Pd)的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜,使样品适用于扫描电子显微镜(SEM)分析。仪器结构紧凑,全自动控制,设计符合人体工程学,所得结果一致,可重复性高。

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