电阻式热蒸发镀膜机 电阻式热蒸发镀膜机是郑州科探仪器设备有限公司生产，台式设计、软件自动操控、高性价比，非常适合实验室科研使用。 通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面 小型蒸镀仪 郑州科探KT-Z1650CVD，台式设计、软件自动操控、高性价比，非常适合实验室科研使用。 通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为热蒸发镀膜，热蒸发镀膜技术是历史**久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下为蒸发镀膜设备的示意图。 技术规格： - 基底尺寸：3英寸，4英寸，6英寸； - 基底旋转：8转/分钟； - 热蒸发源：电阻式热蒸发舟，交流电源； - 腔体：不锈钢或石英腔体可供客户选择； - 泵：前级干泵，分子泵； - Load Lock样品传输腔室：手动或自动传输，高真空，支持多种样品衬底(选配)； - 工艺控制：PC/PLC机制的自动控制、数据处理、工艺记忆储存； - 原位监控：石英晶振监测(QCM)，光学监测，残余气体分析，其他原位监测技术或控制； - 衬底固定：单衬底固定，客户化衬底固定方式； - 衬底夹具：加热，冷却，偏置，旋转等； - 保护样品：配有样品挡板，可手动或自动开/关挡板，达到及时遮挡样品效果； 是一款小型多功能镀膜仪，额定1800度高温，自动样品挡板，靶台旋转，触摸屏多段控制，工艺储存等功能。 正空蒸发镀膜包括以下基本过程：（1）加热蒸发过程：包括由凝聚相转变为气相的过程，每种蒸发物质在不同的温度有不同的饱和蒸气压。（2）气态原子或分子在蒸发源与基片之间运输，即原子或分子在环境气氛中的飞行过程。 （3）蒸发原子或分子在基片表面张得沉积过程。即是蒸发，凝聚，成核，核生长，形成连续的膜。由于基板温度远 低于基板温度远低于蒸发源温度，因此，气态分子在基片表面将发生直接由气态到固态的相转变过程。