日本光驰OTFC-1800MM光学镀膜机-光学机-真空电镀机设备介绍 二手日本光驰OTFC-1550镀膜机 光学机 电镀机配置表：OTFC-1550光驰镀膜机( 日本电子16F双枪，23寸光驰RF离子源 275机械泵+爱德华配套罗茨泵 HOM2R-VIS350A光学膜厚监控仪 XTC/3+6点式水晶传感器 在线使用中的设备 此设备保养好 日本原装 含安装调试免费教工艺。 OTFC-1550光学镀膜机配置 真空室：SUS304,Ф1550*1800MM 工件架：Ф1400 工件架转速：10rpm to 30rpm (可变) 光学膜厚控制：HOM2- -R -VIS350A 光学膜厚监控仪：波长范围: 350nm to 1100nm |反射式 水晶式膜厚计：XTC/3+6点式水晶传感器 蒸发源：2套日本电子24P双枪 离子源：23 寸光驰RF离子源 排气系统：机械泵1个，扩散泵Polycold 275机械泵+爱德华配套罗茨泵 性能 达到压力：7. 0X10-5Pa以下 排气时间：20分(大气压~1. 3X 10-3Pa) 基板温度：: 350C 工作条件 电源：3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA 水流量：180升/分以上 空气压力：0.5MPa以上 重量：约11000kg