实验室小型真空磁控离子溅射镀膜仪 真空溅射仪 小型溅射仪(Sputtering System)是一种利用溅射技术制备薄膜的设备,主要用于制备和研究金属、合金、氧化物、硅等材料的薄膜。 它通常由四个主要组件组成:真空室、溅射枪、靶材和控制系统。真空室是封闭的金属或玻璃盒子,用于维持真空环境,以避免杂质和气体干扰制备过程。溅射枪是用于向靶材表面发射离子的设备,它可以控制溅射速率和角度,从而控制薄膜的厚度和均匀性。靶材是被准备薄膜所需的原材料,其材料和形状根据要制备的薄膜类型而变化。控制系统是用于控制整个设备的电子和电气系统,包括真空泵、用于创建和维持真空的电子控制器和电源、溅射枪控制器和监控器等。 小型溅射仪通常用于研究实验室或小批量生产,它具有制备稳定、纯净、均匀膜的优点,可以制备几纳米到数百纳米之间的薄膜。它也被广泛应用于电子器件、太阳能电池、显示器件、硬盘驱动器等领域。 主营:气体配比器、真空度控制仪、分值泵真空机组、真空测试腔、高低温真空探针台、等离子清洗机、氢氧水焊机、石英管真空封口机、小型蒸镀仪、小型溅射仪、温湿度控制器、真空加热炉、恒温鼓泡管、流量积算仪、流量计、显示仪等