OSAKA大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵 TGkine-R系列 磁悬浮复合分子泵具备了磁悬浮复合分子泵(控制器?电源一体型)TGkine-B系列优秀的产品性能，本系列更搭载了将工作数据、轴承使用次数等记忆在泵本体中的存储功能，即使在维修期间更换控制器，也能够传输数据。 OSAKA大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵TGkine-R系列产品型号： TGkine2200M-R、TGkine3300M-R / TGkine3400M-R、TGkine3800M-R / TGkine4200M-R 产品特点： ■ 省电设计 ■ 在真空泵本体中，可存储设置参数，运转数据及异常历史等。 ※即使在维护阶段更换控制器，也可实现全数据转移。 ■ 支持多种通信接口规格 （兼容EtherCAT通信协定） ■ 适用于国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2 使用场合： ■ 半导体制造设备 ■ FPD制造设备 ■ 太阳能电池制造设备 ■ 玻璃/镜片等光学部件加工 ■ 镀膜工艺 ■ 加速器/宇宙环境模拟器