纯铁镓合金靶材是一种常用于薄膜制备和表征的材料。该材料具有优异的磁性热稳定性和机械性能，广泛应用于磁性材料、磁存储器件、传感器等领域。纯铁镓合金靶材的制备主要采用物象相沉积法或磁控溅射法。在制备过程中需要对合金成份、沉积温度、压力和气氛等因素进行控制，以获得高质量的靶材。