产品用途：探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 该探针台的承载台为60＊60不锈钢台面，台面可升温到350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为x/y/z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中x方向调节范围：0--30mm; y方向调节范围：0—20mm；z方向调节范围：0—20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需要检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架x/y/z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。 真空腔体 腔体材质 304不锈钢 上盖开启 铰链侧开 加热台材质 304不锈钢 内腔体尺寸 φ160x90mm 观察窗尺寸 Φ70mm 加热台尺寸 φ60mm 观察窗热台间距 75mm 加热台温度 ﹣196~350℃ 加热台温控误差 ±1℃ 真空度 机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa 允许正压 ≤0.1MPa 真空抽气口 KF25真空法兰 气体进气口 3mm-6mm卡套接头 电信号接头 SMA转BNC X 4 电学性能 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V 探针数量 4探针 探针材质 钨针 探针尖 10μm 探针移动平台 X轴移动行程 30mm ±15mm X轴控制精度 ≤0.01mm Y轴移动行程 13mm ±12.5mm Y轴控制精度 ≤0.01mm Z轴移动行程 13mm ±12.5mm Z轴控制精度 ≤0.01mm 电子显微镜 显微镜类别 物镜 物镜倍数 0.7-4.5倍 工作间距 90mm 相机 sony 高清 像素 1920※1080像素 图像接口 VGA LED可调光源 有 显示屏 8寸 放大倍数 19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm