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氮化硅材料性能参数
热压氮化硅主要性能指标：（表1）
| 性能 | 热压烧结氮化硅 |
| 体积密度(g/cm3) | 3.2~3.4 |
| 抗弯强度（Mpa） | ≥900 |
| 断裂韧性（Mpa.m1/2） | 6~8 |
| 硬度（HV）（Gpa） | 15~17 |
| 导热系数（W/m.k） | 23~25 |
| 热膨胀系数×10-6/℃（0~1400℃） | 2.95~3 |
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性能参数：
室温抗折强度：800-900Mpa。室温断裂韧性：6.0-7.0Mpa.m1/2
体积密度:3.20-3.25g/cm3 室温体积电阻率:1014Ω.cm
室温相对折电常数:6-7MHZ。热导率:20-25W.(M.K)-1
热澎涨系数:3.1×10-6/℃ 硬度: HRA 92-94
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