超声波清洗的作用机理主要有以下几个方面：因空化泡破灭时产生强大的冲击波，污垢层的一部分在冲击波作用下被剥离下来、分散、乳化、脱落。因为空化现象产生的气泡，由冲击形成的污垢层与表层间的间隙和空隙渗透，由于这种小气泡和声压同步膨胀，收缩，象剥皮一样的物理力反复作用于污垢层，污垢层一层层被剥离，气泡继续向里渗透，直到污垢层被完全剥离。这是空化二次效应。超声波清洗中清洗液超声振动对污垢的冲击。超声加速化学清洗剂对污垢的溶解过程，化学力与物理力相结合，加速清洗过程。
超声波清洗的主要参数：
频率： ≥20KHz
清洗介质：采用超声波清洗，一般两类清洗剂：化学溶剂、水基清洗剂等。
清洗介质的化学作用，可以加速超声波清洗效果，超声波清洗是物理作用，两种作用相结合，以对物件进行充分、彻底的清洗。
功率密度：功率密度 = 发射功率（ W ） / 发射面积（ cm2 ）通常 ≥0.3W/cm2 ，超声波的功率密度越高，空化效果越强，速度越快，清洗效果越好。但对于精密的、表面光洁度甚高的物件，采用长时间的高功率密度清洗会对物件表面产生 “ 空化 ” 腐蚀。
超声波频率：超声波频率越低，在液体中产生的空化越容易，产生的力度大，作用也越强，适用于工件（粗、脏）初洗。频率高则超声波方向性强，适用于精细的物件清洗。
清洗温度：一般来说，超声波在 30℃-40℃ 时的空化效果最好。清洗剂则温度越高，作用越显著。通常实际应用超声波时，采用 50℃-70℃ 的工作温度。
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