高精度控制能够进行灵敏度为0.3kPa(1mmHg),反复再现性为0.13kPa(±1mmHg)以内的高精度的真空控制。优异的压力特性对于次压力变化,设定压力变动为1.3kPa(10mmHg)以内。大流量类型能够进行流量达到/的控制,因此应用于大流量的使用。应答性良好,对于次侧的压力变动反应灵敏。
规 格 | |||
项目 | RV・S-1-2 | RV-1-2 | RV-1-3 |
使用流体 | 空气(真空) | ||
压力设定范围 kPa | -1.3 ~ -100( 10 ~ 750 ) | ||
灵敏度 kPa | 13.3(0.1) | ||
反复再现性 kPa | ±0.13(±1)以内 | ||
使用温度范围 ℃ | 5~60 | ||
流量 l/min(normal) | 200 | 270 | |
配管连接口径 Rc(PT) | 1/4 | 3/8 | |
托架 | 标准装备 | ||
质量 kgf | 0.5 | 0.65 |