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高精度控制能够进行灵敏度为0.3kPa1mmHg),反复再现性为0.13kPa±1mmHg)以内的高精度的真空控制。优异的压力特性对于次压力变化,设定压力变动为1.3kPa10mmHg)以内。大流量类型能够进行流量达到/的控制,因此应用于大流量的使用。应答性良好,对于次侧的压力变动反应灵敏。

规 格
项目
RVS12
RV12
RV13
使用流体
空气(真空)
压力设定范围 kPa
-1.3 -100 10 750
灵敏度 kPa
13.30.1
反复再现性 kPa
±0.13±1)以内
使用温度范围 
560
流量 l/min(normal)
200
270
配管连接口径 RcPT
14
38
托架
标准装备
质量 kgf
0.5
0.65
 
长野

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