磁悬浮涡轮分子泵
ATH-M 系列
Adixen磁悬浮涡轮分子泵
阿迪克森磁悬浮涡轮分子泵
五大防腐特性
?自动平衡系统?嵌入式75加热系统?5轴控制?惰性气体吹扫?逆向动力密封（适用于ATH400与ATH1300型）高流量应用
ATH 400 M, ATH 1300 M,ATH 1600 M ATH2300 and ATH 2800 MT型是专为高压、高流量的半导体工业以及其他薄镀膜工艺而设计。
紧凑而现代的设计
?可调节转速以优化抽气时的参数
?高平均无故障时间
?使用成本低
?低噪音低振动
?无需电池
应用
?玻璃镀膜
?微处理系统加工
?离子束矫正
?电子显微镜
?空间模拟腔
?粒子加速器
?半导体工艺(刻蚀, CVD, 离子插入)
?镀膜与薄镀膜工艺
?离子铣
?以及许多研发实验