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产品规格
图文详情
应用范围：
n 薄膜太阳能电池
n 光学镀膜
n 平面显示器
n LCD and LED
n 半导体及介电质
n 平滑与粗糙样品皆适用
系统特色：
n 即时运算
n 量测速度小于1秒
n 薄膜厚度，反射率CIE色度量测
n 易于操作，成本效益高
n 包含可追追溯反射率标准值
n 可同时适用平滑与粗糙样品
参考规格
| 量测功能 | 薄膜厚度，反射率，CIE色度 |
| 系统模式 | 反射式光源或反射式积分球（8/D,D/8Selective） |
| 波长范围 | 380-850nm,380-1100nm,380-1650nm or custom |
| 膜厚量测范围 | 300-400,000Angstrom |
| 解析度 | 0.5-2nm |
| 精确度 | 1nm |
| 重复性 | ±1% |
| 量测速度 | 少于1秒 |
| 量测光源 | 高瓦素卤素灯源（最高可达1650nm） |
| 适用样品 | 光学镀膜，蓝宝石GaN,彩色滤片，太阳能电池，偏光镜等等 |
| 系统平台 | 固定平台/x-ystage(行程100mm*100mm,150mm*150mm或客制比)/自动平台 |
| 量测软件 | Windows Me,98,2000,XP comparable.薄膜厚度自动设计软件，反射率，表面粗糙度，色差量测软件 |
| 选够 | 显微镜 |
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