产品名称

PECVD系统

      1200型管式炉

炉膛模式

开启式

炉体滑动

可以通过导轨左右滑动实现物料的快冷和快热

炉膛材料

进口氧化铝耐火纤维

加热元件

进口含钼加热丝

温度

1200℃

工作温度

≤1100℃

升温速率

≤20℃(建议:15℃/min)

加热温区

双温区

温区总长度

220-220mm

炉管材质

高纯石英

炉管直径

60mm

炉管长度约

2000mm

密封方式

不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈)

控制模式

二温区30段智能PID程序单独控温

恒温精度

±1℃

温度曲线

多段"时间—温度曲线"任意可设

测温元件

K型热电偶

报警

有超温和断偶报警

供电电源

220V    50HZ

整机功率

10 KW

等离子射频电源（可滑动式）

射频频率

13.56 MHz    

功率范围

0-500W   

反射功率

最大100W

射频接口

50 Ω, N-type

嗓声

 ≤55DB

冷却

风冷

输入功率

1KW   AC220V/50HZ

      真空系统(含不锈钢波纹管和相关连接配件)

真空泵

成都南光的扩散泵机组

220V/50HZ  真空度能达到-2pa

售后服务

12个月质保，终身保修

包装形式

三合板木质包装箱，包装箱不回收

随机配件

石英炉管1根、真空法兰、炉管堵塞、O型密封圈、防护手套、坩埚钩、聚四氟管、不锈钢卡套接头、不锈钢波纹管、KF转接头、5mm内六角扳手等配套。