硅层
该Mscan可配置用于高速颜色检测设备。颜色对于检测多种硅缺陷极为重要。这些缺陷不能被单色相机检测到。钝化层非常薄，厚度变化产生了干扰图案，这样不用改变整体强度便可以改变反射光线的颜色分布。像素大小可调整到200纳米。该系统同时支持的反射和透射照明。透射照明是用于检测玻璃板和过滤器。 Beltronics专利的自动跟踪系统，能够用于高分辨率光学检测，以确保非常小的缺陷在高扫描速度下可以被检测到。
http://www.e-gtm.com.cn/product/4768.shtml