上海财盈电子有限公司于2005年1月成立,紧靠上海闵行莘庄,有半导体设备电源,直流电源RF GENERATOR、 MICROWAVE POWER SOURCEAE微波发生器维修专家。
1、半导体制造、LED光电材料、太阳能、平板显示、汽车电子等行业的离子注入、扩散、光刻、PVD物理气相沉积,CVD 化学气相沉积,PECVD等离子增强化学气象沉积,溅射薄膜、蚀刻 等工艺。
2、 HV PSU高压电源、DC PSU大功率直流电源、RF Generator射频电源、MICROWAVE POWER SOURCEAE微波发生
器、触摸屏人机界面、PCB板,涉及设备品牌有AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)、DAIHEN、SEREN、Glassman、
Spellman、LAMBDA、SORENSEN、Delta、AMAT、Nikon、Varian、Lam、Nissin、ASML等。
3、维修机台涉及Lam9400、Lam9100、Varian E500,、Varian E200、AMAT PI9500、PI9200、XR80, Nissin Exceed2000AH、Axcelis/EATON NV6200、PVD、CVD、PECVD、溅射镀膜设备等。
公司配备专用维修、检测和负载测试工具,有多年的丰富维修经验高级工程师队伍,质量可靠,价格合理,提供保修,
维修前先订合同,确认后再维修。部分型号可提供备品应急。
Ext Supp PSU | E11000024 |
E500 GAUGE CONTROLLER | E11000070 |
Quad #1 PSU | E11000092 |
Uniformity Controller | E11001010 |
Dose controller | E11001033 |
Acc Supp PSU | E11001040 |
Acc Supp PSU | E11001041 |
LINEAR MOTOR SERVO CONTROLLER | E11001062 |
E500 GAUGE CONTROLLER | E11003713 |
3 meter Gauge controller | E11003713 |
ACC PSU | E11005370 |
Oven PSU | E11038044 |
Ext Supp PSU | E11044810 |
SRC Magnet Polarity SW | E11057640 |
Gas flow control PCB | E15001670 |
Fiber control board | E15002350 |
Fiber control board(Ext) | E15002364 |
Multi vacuum gauge control PCB | E15002390 |
In-Vac profiler I/F PCB | E15009900 |
E500 Arc PSU | E19000462 |
SCAN GENERATOR | E19000790 |
Servo Disc DC motor | E19007100 |
D1 isolation transformer | E19007910 |
Power Generator | E55000003 |
型号 | 电压 | 电流 | 功率 | 型号 | 电压 | 电流 | 功率 | |
XFR 6-200 | 0-6 | 0-200 | 1200 | XFR 7,5-300 | 0-7,5 | 0-300 | 2250 | |
XFR 7,5-140 | 0-7,5 | 0-140 | 1050 | XFR 12-220 | 0-12 | 0-220 | 2640 | |
XFR 12-100 | 0-12 | 0-100 | 1200 | XFR 20-130 | 0-20 | 0-130 | 2600 | |
XFR 20-60 | 0-20 | 0-60 | 1200 | XFR 33-85 | 0-33 | 0-85 | 2085 | |
XFR 35-35 | 0-35 | 0-35 | 1225 | XFR 40-70 | 0-40 | 0-70 | 2800 | |
XFR 40-30 | 0-40 | 0-30 | 1200 | XFR 60-46 | 0-60 | 0-46 | 2760 | |
XFR 60-20 | 0-60 | 0-20 | 1200 | XFR 100-28 | 0-100 | 0-28 | 2800 | |
XFR 100-12 | 0-100 | 0-12 | 1200 | XFR 150-18 | 0-150 | 0-18 | 2700 | |
XFR 150-8 | 0-150 | 0-8 | 1200 | XFR 300-9 | 0-300 | 0-9 | 2700 | |
XFR 300-4 | 0-300 | 0-4 | 1200 | XFR 600-4 | 0-600 | 0-4 | 2400 | |
XFR 600-2 | 0-600 | 0-2 | 1200 |