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上海财盈电子有限公司于2005年1月成立,紧靠上海闵行莘庄,有半导体设备电源,直流电源RF GENERATOR、 MICROWAVE POWER SOURCEAE微波发生器维修专家。

1、半导体制造、LED光电材料、太阳能、平板显示、汽车电子等行业的离子注入、扩散、光刻、PVD物理气相沉积,CVD 化学气相沉积,PECVD等离子增强化学气象沉积,溅射薄膜、蚀刻 等工艺。

 

2、 HV PSU高压电源、DC PSU大功率直流电源、RF Generator射频电源、MICROWAVE POWER SOURCEAE微波发生

      器、触摸屏人机界面、PCB板,涉及设备品牌有AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)、DAIHEN、SEREN、Glassman、  

      Spellman、LAMBDA、SORENSEN、Delta、AMAT、Nikon、Varian、Lam、Nissin、ASML等。

 

3、维修机台涉及Lam9400、Lam9100、Varian E500,、Varian E200、AMAT PI9500、PI9200、XR80,  Nissin Exceed2000AHAxcelis/EATON NV6200PVDCVDPECVD、溅射镀膜设备等。

       

      公司配备专用维修、检测和负载测试工具,有多年的丰富维修经验高级工程师队伍,质量可靠,价格合理,提供保修,     

       维修前先订合同,确认后再维修。部分型号可提供备品应急。


Ext Supp PSU E11000024
E500 GAUGE CONTROLLER E11000070
Quad #1 PSU E11000092
Uniformity Controller E11001010
Dose controller E11001033
Acc Supp PSU E11001040
Acc Supp PSU E11001041
LINEAR MOTOR SERVO CONTROLLER E11001062
E500 GAUGE CONTROLLER E11003713
3 meter Gauge controller E11003713
ACC PSU E11005370
Oven PSU E11038044
Ext Supp PSU E11044810
SRC Magnet Polarity SW E11057640
Gas flow control PCB  E15001670
Fiber control board E15002350
Fiber control board(Ext) E15002364
Multi vacuum gauge control PCB E15002390
In-Vac profiler I/F PCB E15009900
E500 Arc PSU E19000462
SCAN GENERATOR E19000790
Servo Disc DC motor E19007100
D1 isolation transformer E19007910
Power Generator E55000003





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型号 电压 电流 功率   型号 电压 电流 功率
XFR 6-200 0-6 0-200 1200   XFR 7,5-300 0-7,5 0-300 2250
XFR 7,5-140 0-7,5 0-140 1050   XFR 12-220 0-12 0-220 2640
XFR 12-100 0-12 0-100 1200   XFR 20-130 0-20 0-130 2600
XFR 20-60 0-20 0-60 1200   XFR 33-85 0-33 0-85 2085
XFR 35-35 0-35 0-35 1225   XFR 40-70 0-40 0-70 2800
XFR 40-30 0-40 0-30 1200   XFR 60-46 0-60 0-46 2760
XFR 60-20 0-60 0-20 1200   XFR 100-28 0-100 0-28 2800
XFR 100-12 0-100 0-12 1200   XFR 150-18 0-150 0-18 2700
XFR 150-8 0-150 0-8 1200   XFR 300-9 0-300 0-9 2700
XFR 300-4 0-300 0-4 1200   XFR 600-4 0-600 0-4 2400
XFR 600-2 0-600 0-2 1200    

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