系列单晶炉修理、改造：

    产品用途 该系列单晶炉是采用直拉法生长单晶硅材料的专用设备。 主要技术参数 VDR1500单晶炉系列 电源： 3相，380 V±10%,50HZ 环境温度：15～30℃ 环境湿度：≦65% 加热器最大加热功率：150～200 KVA 加热器最高加热电压：60 V 冷炉极限真空度：3 Pa 晶体直径：Φ8"/φ 10" 熔料量： 150 Kg 主炉室尺寸：Φ1000×1400 mm 隔离阀通径：Φ350 mm 副炉室尺寸：Φ350×2300 mm 籽晶拉速范围：0.2～8 mm/min 籽晶快速范围：≥300 mm/min 籽晶转速范围：2～40 R/min 坩埚升速范围：0.02～1.0 mm/min 坩埚快速范围：≥100 mm/min 坩埚转速范围：0.2～15 R/min 籽晶提升有效行程：3100 mm 坩埚升降有效行程：450 mm 主机占地面积： 2400×2000 mm 主机最大高度：7200 mm