AirGlide高精度空气轴承直线电机往复平台为超平滑空气轴承PhotonBeamTM高级光纤定位系统,采用DPS独特的 clog-free 空气轴承技术,可以实现极其精确的速度控制,适合晶片扫描、晶片检查、薄膜厚度测量、CD测量、存储器维修、显微镜扫描探测、光纤布拉格写入等应用。
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