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常见的真空卷绕镀膜设备按其工作原理可分为:蒸发卷绕镀膜、磁控溅射卷绕镀膜和组合式卷绕镀膜。

工作原理与特点:采用磁控溅射(直流、中频、射频)方法把各种金属、合金、化合物、陶瓷等材料沉积到柔性基材上,进行单层或多层镀膜。

适合在柔性基材上镀制各种介质膜(SiO2,Si3N4,Al2O3,SnO2,ZnO,Ta2O5等)、导电膜(ITO,AZO)、AR减反膜、HR高反膜、低辐射Low-E膜、合金膜和金属膜(Al,Cr,Cu,Fe,Ni,SUS不锈钢,TiAl等)主要应用于:柔性线路板、ITO透明导电膜、薄膜电容、汽车/火车/轮船等贴膜、薄膜太阳能电池、柔性太阳能电池FPD平板显示,柔性显示器件等方面。

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