三次元结构特点：
1.三坐标测量机采用全花岗岩结构、有限元分析、固定龙门式设计从而使测量机整体保持了高稳定性与高可靠性。
2.三坐标测量机采用全花岗岩横梁、整体基座、立柱工作台、Z轴形成整机全封闭框架结构，具有高稳定性、不易变形、热稳定性高等特点。
3.三坐标测量机三轴均采用先进的柔性钢丝同步齿型带传动，整机运动无任何噪音、定位快速准确、不打滑、长寿命。
4.Y轴采用高精度整体双燕尾导轨、三轴均为中心驱动、高分辨率光栅尺中心安装使各轴运动的俯仰、偏摆得到最大限度抑制，且产生最小的阿贝误差。采用世界名牌大功率电机及伺服驱动器，大大改善运动控制特性，测量机加速、制动、运行更快速平稳。
5.Z轴应用采取获得专利的气动平衡技术，采用柔性悬挂系统，避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题，提高了测量机的精度和长期稳定性。
三次元技术参数：
| 型号 | MST-L1200 | MST-L1500 | MST-L1800 | MST-L2000 | |
| 测量范围(mm) | X | 1000 | 1200 | 1500 | 1800 |
| Y | 1200 | 1500 | 1800 | 2000 | |
| Z | 200 | ||||
| 技术指标Technical Features | |||||
| 影像摄取系统 | SONY 1/2" High-resolution black & white CCD camera | ||||
| 分辨率 | 0.1um | ||||
| 重复精度 | X/Y/Z=2.5um | ||||
| 测量精度 | U1 x / y = (4.0+L/250)um | ||||
| U1 z = (4.0+L/250)um | |||||
| U2 x / y = (6.0+L/250)um | |||||
| 光源照明系统 | 同轴光（黄色LED） 轮廓光（黄色LED) 环光（黄色7向14位） | ||||
| 雷射激光系统 | Keyence LKG30 光点理论直径：30um 工作范围：+-4.5um 参照距离：30mm 光波长度：650nm | ||||
| CCD两种对焦模式 | 快速对焦（约1.5秒）& 高精度对焦 | ||||
| 雷射对焦 | 单点对焦/扫描对焦 | ||||
| 缩放倍率 | 1X物镜 | 25X 50X 100X (分辨率：1280X1024 17") | |||
| 2X物镜 | 50X 100X 200X (分辨率：1280X1024 17") | ||||
| 焦距/工作范围 | 1X物镜 | 92mm/80~93mm | |||
| 2X物镜 | 36mm/34~37mm | ||||
| 机器特征Machine Features | |||||
| 机器型式 | 花岗岩床台固定桥式 | ||||
| 机器重量（净重/毛重） | 3800kg/4000kg | 4150kg/4400kg | 4500kg/4800kg | 4850kg/5200kg | |
| 最大载荷 | 40kg | ||||
| 最高运行速度 | X、Y=350mm/s | Z=200mm/s | |||
| 最高加速度 | 1000mm/s2 | ||||
| 系统特征System Features | |||||
| 控制系统 | 全自动CNC控制系统 | ||||
| 驱动系统 | 四轴程控：三轴交流伺服马达全闭回路控制，高精密级线性滑轨与预压滚珠螺杆驱动，步进马达Zoom同轴控制镜头组 | ||||
| 软件配置 | 标准 | Smart Inspector Pro3.0 | |||
| 选配 | 制程统计管制SPC模块（网络版）；QV、VMS程序转换系统PowerMetrix离线版；3D型状误差动态分析软件；CAD整合型报表；精密测量操作系统等 | ||||
| 操作系统 | Windows 7 | ||||
| 外部工作环境Operating Environment | |||||
| 电源 | 220V 50～60HZ >10A | ||||
| 功率 | 2.0KW | ||||
| 温度范围 | 20℃±2℃ 1℃/1h 2℃/24h 1℃/m | ||||
| 湿度范围 | 40%~70% | ||||
| 电脑配置 | 可选（实际出货以报价单为准） | ||||
